SF6氣體檢漏儀檢測的六氟化硫的分子量是空氣的5倍，因此六氟化硫離子在電場中的運行速度比空氣中的氮、氧等離子小得多，更容易發生復合性，氟離子使氣體帶電質點減少，大大提高氣體的絕緣水平，約為空氣的3倍。氟元素是所有元素中對電子親和合力zui強的，所以六氟化硫具有很強的電負性，對電子吸引能力極大，極易形成負離子，所以六氟化硫氣體的滅弧性能是空氣的100倍。因此，六氟化硫氣體在電氣設備中應用非常廣泛，是目前所發現的絕緣滅弧性能的物質。

 

    SF6氣體檢漏儀通過對六氟化硫壓力和溫度關系曲線分析可知，在液化曲線右側，溫度變化時氣體的密度保持不變，僅呈現壓力的變化，即絕緣強度及滅弧性能不變，但當氣體的溫度下降到液化氣溫而繼續下降時，氣體將液化，其壓力、密度下降得很快。此時氣體的滅弧絕緣性能都要迅速下降，因此，六氟化硫設備不允許工作溫度低于液化溫度。SF6氣體檢漏儀具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩定性好、響應速度快、探頭不會中毒、不產生有毒氣體等特點。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器讀數更為方便準確。