SF6真空補氣裝置的作用是補氣，那么為什么SF6需要補氣呢？
    在對新的六氟化硫高壓電氣設備充氣、現場投運設備的補氣等工作時，目前一般的操作方法都采用普通氧氣減壓閥（內部有吸水性很強橡膠密封材料）、普通橡膠管（吸水性強，長期不使用管內水分含量在上萬ppmv）等工具。
    一般情況下在使用前都不進行干燥處理，在補、充氣時只是簡單的向空氣中排放一下（從環保及人生安全要求這是不允許的），吸附在管壁上的水分并沒有能夠得到排除，然后就往設備中補氣體。由于設備本身對六氟化硫氣體含水量有嚴格要求，行業標準規定投運前不得大于150PPm（滅弧室）投運后不得大于300PPm。如果在補氣時環境濕度大于75%，或者管道內吸附了大量的水分，那么這些水分勢必將被帶進設備內部，而帶進去的水分是無法再取出的，必將影響六氟化硫高壓電器設備本身安全運行，并將產生嚴重后果。
    1、六氟化硫高壓電氣設備（斷路器、GIS、互感器等）在運行中要進行常規試驗，如六氟化硫氣體中含水量測試，多次測試或因為選用測試儀器耗氣量大等原因會導致本體內部壓力、密度下降，從而需要補充新的六氟化硫氣體。
    2、PN系列真空補氣裝置采用不吸濕的憎水材料，管道采用不銹鋼可彎曲鎧裝管，通過無油真空泵能快速地將管道內的氣體水分抽出，保證管路內真空壓力低于13Pa(0.13mpar)。