1、接通AC220V工作電源，打開“電源開關”，儀器運轉。
2、5～10分鐘后，打開“測量開關”，測量指示燈亮，探槍窗口有暗淡紫色光發出；如無紫光發出或發光太亮，說明真空度不夠，請立即關機，再預熱幾分鐘后再開機，探頭窗口會發出暗淡紫色光亮，把“調檔旋鈕”打到“準備”處。
3、把“調檔旋鈕”打到“自校”處，儀器需預熱10～15分鐘后，指針回到20格以下，說明儀器正常可以檢測。否則，可能儀器出現異常或周圍環境里SF6氣體太多。
4、把“調檔旋鈕”打到所需要的靈敏度處，然后用“調零旋鈕”把儀器的指示調整到零。如儀表本底在±2格左右變化是正常的。儀器有1，2……檔，1檔較靈敏。
5、把探頭上的“報警旋鈕”向零方向調整到臨界值，儀器發出緩慢的“嗒……”的聲音
6、滿足上述要求，表示儀器具備了測量條件，可進行SF6氣體的定性和定量檢漏。
7、當發現泄漏點時，儀器發出警報聲，警報指示燈閃爍，刻度發生偏轉，從儀表上可得出SF6泄漏的測量值，然后查標準曲線得出SF6泄漏濃度，通過計算得出年泄漏率。
SF6氣體檢漏儀關機：
1、把“調檔旋鈕”打到“關”處。
2、關閉“測量開關”。
3、關閉“電源開關”，撥掉電源線。
4、把探頭上的“警報旋鈕”調到“∞”處。
SF6氣體檢漏儀操作過程中注意事項：
1、在開機前，操作者要先熟悉操作說明，嚴格按儀器的開機和關機操作步驟進行操作。
2、不許把探頭放在地上，探頭孔不得進灰塵，不得摔損，以免影響儀器的性能。
3、探頭和機箱不得拆卸，以免影響儀器正常工作。
4、儀器探頭已調好，不得亂調。儀器是否正常以自校格數為準。
5、注意真空泵的維護保養，以及電磁閥是否正常動作和保持密封，因為真空泵和電磁閥的工作是否正常，將影響儀器的使用。
6、給真空泵換油時，儀器不得帶電(要撥掉電源線)，以免發生觸電事故。
7、儀器在運輸過程中不許倒放，不可劇烈振動。
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