SF6氣體檢漏儀的靈敏度、反應時間及恢復時間是鹵素檢漏儀的主要性能參數，其測試方法與氦質譜檢漏儀的相同。但是，SF6氣體檢漏儀的指示與氣體的濃度有關：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當濃度很高時儀器出現飽和或中毒現象。所以在進行性能測試或檢漏時，進進傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。使離子在進進第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，固然可以通過*個分析器，但是，經第二次加速進進第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲明顯地減小，進步了儀器靈敏度。

    SF6氣體檢漏儀的工作方式是電源帶動氣泵對待測區域的氣體進行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進行檢測。分析儀的特點是檢測速度快，對現對危險的區域可進行遠距離測量，維護人員安全，其它和氣體檢測儀一樣。在工業裝置上和生產過程中使用較多的檢測儀。記錄儀它可以安裝在特定的檢測點上對特定的氣體泄漏進行檢測。固定式檢測器一般為兩體式，有傳感器和變送器組成的檢測頭為一體，安裝在檢測現場，有電路、電源和顯示報警裝置組成的二次儀表為一體安裝在安全場所，這樣便于監視。 漏點預定位是指聽漏棒、電子聽漏儀及噪聲自動記錄儀來探測供水管道漏水的方法，根據使用SF6氣體檢漏儀的不同，預定位技術主要有閥栓聽音法和噪聲自動監測法。特別適用于環境干擾噪聲大、管道埋設太深或不適宜用地面聽漏法的區域，用相關儀可快速準確地測出地下管道漏水點的*位置。